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全自动硅片清洗机（非标设备） 本设备用于2″—8″硅片的规模生产。整机采用德 国进口磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清洗 2个花篮。 本设备由机架部分、整机部分、槽体部 分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构 成。工艺过程全自动。台面腐蚀机（全自动） 适 用于2″—8″硅片的腐蚀 。本设备适用于半导体 工艺中对硅片周边进行湿法化学腐蚀形成均匀一致 的斜角，本设备技术先进，适用于规模生产 。设 备是由电气控制、机架、箱体、清洗槽、机械手、 伺服系统、层流净化、管路部分构成。 清洗槽是 由去离子水洗槽、有机溶剂槽、酸槽、或碱槽等构 成。 电控部分：人机接口为触摸屏，方便美观， 可存储多套工艺，便于不同规格的硅片腐蚀。 立式石英管清洗机（非标设备） •本设备适用于1″—8″的石英管清洗。•其结构为 电器部分、箱体部分、隔离门部分、在线加热部 分、喷淋部分、喷淋装置的上下移动部分、管路部 分、抽风部分。•本设备为柜体式,外箱体为德国磁 白PP，内箱体为德国PVDF，操作面带有德国透明 PVC门窗。•置于机台右上方的电控部分，配有紧急 停机及报警装置 ，电控部分采用密封保护。排风 为后排和上排的双重形式。非标设备 |
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